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NenoVision扫描电镜下AFM

简要描述:扫描探针显微镜,电镜下原子力,扫描电镜下,NenoVision扫描电镜下AFM提供了广泛的扫描探针显微镜(SPM)成像模式,可通过更换探针轻松使用。

  • 产品型号:LiteScope™
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-06-03
  • 访  问  量:176

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详细介绍
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LiteScope™

扫描探针显微镜的设计易于集成到电子显微镜中。 互补的SPM 和SEM 技术的结合使得能够利用两种常用显微镜技术的优势。


描述

 

LiteScope™提供了广泛的扫描探针显微镜(SPM)成像模式,可通过更换探针轻松使用。

全面的样本分析,包括:

  • 表面形貌的表征

  • 机械性能

  • 电性能

  • 磁性

LiteScope™还可以与其他SEM附件结合使用:

  • 聚焦离子束(FIB)

  • 气体注入系统(GIS)

用于制造纳米/微结构和表面修饰。通过这种组合,LiteScope™可以轻松快速地对制造的结构进行3D检查。


主要优势

  • 独特的相关探针和电子显微镜技术(CPEM)

  • 相关电子显微镜技术

  • 全面的表面表征–形貌,粗糙度,磁性能,电导率,电性能

  • 样本上的信息提示导航

  • 不到五分钟即可轻松集成和安装/拆卸

  • 随插即用

  • 与FIB,GIS,EDX和其他配件兼容

其他优势

  • 自感应探头,无需光学检测,无需激光调整

  • 商用探头,多种测量模式

  • 客户定制的探头可与根据客户要求设计的合适探头支架一起使用

  • 测量头可以缩回到LiteScope™的主体中,以释放样品周围的空间

  • SPM在倾斜位置(倾斜0°– 60°)的操作,小值 WD = 5毫米

  • 用户友好的软件,无需特殊安装

  • 远程访问结果和测量设置


相关探针电子显微镜

 

关联显微镜是一种受益于两种不同技术的同一对象成像的方法。

相关探针 和电子显微镜(CPEM)已开发用于使用相关成像技术,并带来了解决方案,该解决方案可以同步:

  • 扫描区域

  • 分辨率和图像失真

  • 并能够实时关联采集的SPM和SEM图像

NenoVision引入了CPEM技术

CPEM技术是市场上同类产品中的一个,它允许在同一位置和同一时间使用同一协调系统测量SPM和SEM。

扫描电镜技术

通过电子扫描样品进行二维分析。

SPM技术

通过物理探针扫描样品。

CPEM技术

结合了两种技术,并提供独特的相关成像。

CPEM技术

CPEM可以在同一时间和同一协调系统中同时通过SEM和SPM对一个区域进行同时的表面表征。

以已知的恒定偏移量和相同的分辨率进行同时扫描,可确保在同一表面上进行分析,并可通过我们的NenoView软件直接用于在线成像。


LiteScope™数据

LiteScope™通常用于高真空中,但也可根据要求适用于超高真空条件。

  • 总重量:1 kg

  • 真空工作范围:10e5 Pa至10e-5 Pa

  • 扫描范围X,Y,Z:100×100 ×1 00μm或38x38x38μm

  • 分辨率:高达0.4 nm或0.07 nm

  • 大样品尺寸:10毫米× 10毫米

  • 大样品高度:8毫米

我们提供完全非磁性的版本,也可根据要求提供闭环。


设计

LiteScope™放置在SEM / FIB显微镜的载物台上,甚至可以在倾斜位置进行测量,例如与FIB技术同时使用。

  • 外形小巧,体积小, 可集成到SEM / FIB仪器中

  • 易于集成的过程 –安装在SEM / FIB机械手上

  • 当整个SPM探针隐藏在LiteScopeTM主体中时,可使用对接选项

  • 通用探头支架,适用于多种SPM方法并易于“即插即用”组装

  • 样品倾斜高达60°

  • 针对低振动水平(刚度和适当的共振频率)进行了优化的机械设计,集成了前置放大器(以尽可能消除信号失真/噪声)


控制单元

 

所有控制LiteScope™的电子设备都集成到一个控制单元中。该单元是标准的19英寸机架,可以轻松地安装在SEM电子设备的空闲插槽上,也可以简单地自由放置以匹配手头任务的需要。

  • 动态测量的大PLL频率为75 kHz,适用于基于音叉的探头(或使用外部PLL或根据客户要求更高)

  • 每个扫描轴2 × 16位DAC(扫描范围,偏移),以在视场内的任何地方达到大分辨率

  • 6 × 16位辅助输入,用于同时测量用户信号(±10 V)

  • 输入通道可用于反馈回路混频器

  • 探头信号输出/监控

  • 外部探头激励

  • 使用外部锁定/ PLL所需的所有连接

  • 以太网连接到控制PC

  • 110 VAC或230 VAC操作,200 W

  • 前置放大器位于LiteScope™的主体内,可确保大大降低电噪声


NenoView软件

 

NenoView是用户友好的软件,它可以完全控制设置测量,数据采集和数据处理。NenoView 支持CPEM技术,并使其能够直接和内部利用相关成像。

  • 保存数据以及所有信息,包括测量设置

  • 基于Web的用户界面

  • 易于新用户使用,对专家灵活

  • 用户帐户可单独配置

  • 远程访问用户数据

  • 将数据从控制PC下载到本地计算机

  • 通过平板电脑,智能手机等进行远程实验控制

  • 集成的数据后处理,分析,导出等


成像模式

LiteScope™提供并支持各种SPM测量方法和探头。

其设计的基石和有价值的技术特征是通用探头支架,可以非常轻松地“即插即用”安装不同的探头。


LiteScope™支持的方法和相关探针

 

  Akiyama probes Tuning fork based probes PRS/A* Pt/Ir wire
STM (Scanning Tunneling Microscopy) Yes  Yes   No   Yes 
AFM – Contact Mode  No   No   Yes   No 
AFM – Tapping Mode  Yes   Yes   Yes   No 
AFM – Conductive Mode  No   Yes   No   No 
MFM (Magnetic Force Microscopy)  No   Yes   No   No 
KPFM (Kelvin Probe Force Microscopy)  No   Yes   No   No 
EFM (Electrostatic Force Microscopy)  No   Yes   No   No 
FMM (Force Modulation Mode)  No   No   Yes   No 
Local voltage measurement  No   Yes   No   Yes 
Local current measurement  No   Yes   No   Yes 

* Piezo-Resistive Sensing / Active (PRSA) probes

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