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纳米加工的加工技术一文带你了解

发布时间:2021-09-24浏览:53次

   纳米加工是指构建尺度在纳米范围内的微结构,在纳米尺度下操控物质的组装从而构成具有一定功能的微器件。它是传统微加工技术的发展,是纳米技术的核心之一,它的发展会给人们的未来生活带来不可估量的影响.

  按加工方式,纳米级加工可分为切削加工、磨料加工(分固结磨料和游离磨料)、特种加工和复合加工四类(表4-2)。纳米级加工还可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固有磨料和游离磨料加工;非传统加工是指利用各种能量对材料进行加工和处理;复合加工是采用多种加工方法的复合作用。纳米级加工技术也可以分为机械加工、化学腐蚀、能量束加工、复合加工、隧道扫描显微技术加工等多种方法。机械加工方法有单晶金刚石刀具的超切削,金刚石砂轮和CBN砂轮的超磨削和镜面磨削、磨、砂带抛光等固定磨料工具的加工,研磨、抛光等自由磨料的加工等,能束加工可以对被加工对象进行去除,添加和表面改性等工艺,例如,用激光进行切割、钻孔和表面硬化改性处理。用电子束进行光刻、焊接、微米级和纳米级钻孔、切削加工,离子和等离子体刻蚀等。属于能量束的加工方法还包括电火花加工、电化学加工、电解射流加工、分子束外延等。STM加工可以进行原子级操作和原子去除、增添和搬迁等。

 

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